石墨垫块｜光伏硅片、半导体晶圆承载缓冲垫高纯石墨垫、石墨垫块是 PECVD、硅片退火、晶圆扩散工艺专用承载缓冲件，隔离硅片、晶圆与金属工装，杜绝金属杂质污染、工件表面划伤，是新能源、半导体精密工艺刚需小件耗材。很多电池厂使用刚玉陶瓷垫，硅片划伤不良居高不下，更换石墨垫后不良率大幅下降。

　　石墨垫分为三类：超薄柔性石墨软垫，缓冲防震，适配薄片晶圆；硬质等静压石墨垫块，平整稳定，硅片批量承载；SiC 涂层石墨垫，连续高温产线抗氧化，延长使用寿命。陶瓷垫硬度高，高温热胀易划伤硅片，还会析出陶瓷杂质，影响电池片转换效率。某光伏电池退火生产线，原刚玉陶瓷垫块硅片划伤不良率 7%，每月破损硅片损耗超 10 万片。更换敬国高纯等静压石墨垫块，表面精磨 Ra≤1.6μm，搭配柔性石墨薄垫缓冲，硅片划伤不良降至 0.3%，产能损耗大幅降低。

　　采购 3 个选型要点：1. 表面粗糙度，晶圆、电池片必须 Ra≤1.6μm，防止划伤工件；2. 灰分，半导体晶圆＜20ppm，光伏硅片＜50ppm；3. 连续高温产线选用 SiC 抗氧化涂层石墨垫，减少更换频次。 使用规范：每班清理垫块表面硅粉、杂质，避免颗粒挤压划伤硅片；垫块出现开裂、厚度减薄超 0.5mm 及时更换，防止工件受热不均。敬国石墨可按需裁切任意尺寸石墨垫，批量小件现货快速交付。