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　　MicroSense PV-6060是一款高精度计量模块，为太阳能晶圆厚度、晶圆总厚度变化(TTV)和晶圆电阻率的测量提供了无与伦比的吞吐量和稳定性。所有测量都是完全非接触的实时模拟输出，具有高吞吐量，无晶圆破损。PV-6060旨在简单地集成到自动化晶圆运输中，用于制造在线太阳能晶圆检测和分拣系统的OEM。 非接触式太阳能晶圆测量 太阳能晶圆厚度和TTV - 1或3测量轨道 太阳能晶圆电阻率 太阳能晶圆P或N导电类型(可选) 优点 先进的高稳定性，低噪声电容传感器设计亚微米分辨率和非常可重复的厚度测量 非接触电容传感器提供真正的晶圆表面测量 - 晶圆表面光洁度对厚度测量精度没有影响 5毫米直径传感器用于厚度测量，提供高空间分辨率和接近晶圆边缘的测量 模块化设计 - OEM的灵活配置，设计用于简单

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